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MEMSセンサおよびMEMSアクチュエータの半導体製造テスト

微小電子機械システム (MEMS) の電気性能を検証する製造テストは、スマートフォンや自動車から産業機器まで、現代のイノベーションを後押しするデバイスの信頼性と機能性を保証するために極めて重要です。世界経済では、センサおよびアクチュエータにMEMSを活用する動きが加速しており、効率的で正確なテストを実施することで、大量生産におけるコストを管理しながら高い品質を確保できます。ただし、MEMSデバイスのテストには、高性能な電気計測器に加え、MEMS構造に物理的刺激を与えるための多様な機能が必要とされるため、特有の課題が生じることがあります。

 

最新のMEMS製造テストソリューションには、以下の要件が求められます。

 

  • より多くの同時測定数と高スループットに対応したATE
  • 優れたアナログ性能
  • より多くのデジタルピン数に対応
  • ATEとハンドラの緊密な統合
  • LCRパラメトリック測定のニーズの高まりに対応

NIとパートナーの連携によるMEMS製造テスト向け統合型テストセルソリューション

ソリューションの特長

  • NI ATEおよびソフトウェアにより、本番環境におけるラボグレードの性能とクラス最高のコストパフォーマンスを発揮し、プラットフォームの拡張性と再利用性を実現

  • 同様に、高スループット、コンパクトな設置スペース、高性能を重視したMEMSハンドラおよび刺激を与えるオプション

  • NIとパートナーの連携によって完全に統合されたソリューションにより、リファレンスアーキテクチャを使用し、負荷の高い処理をFPGAにオフロードすることで、総所有コストを削減し、市場投入までの時間を短縮

  • 高い並列テスト効率 (98% 超)、高スループット (1:10,000のジャム率)、コンパクトな設置スペース (従来に比べて1.5～4倍小型化)、高SNRのDUT (例: 68 dB超) のテスト能力など、注目すべきパフォーマンス指標

カスタムシステムまたはDIYシステムをご希望の場合、PXI構成をご検討ください

独自のカスタムテストソリューションを構築する場合は、半導体テストシステム内で使用されているものと同様のコンパクトでモジュール式のPXI計測器を活用できます。ニーズに応じてDC計測器、デジタル計測器、またはAC計測器を適切に組み合わせてPXIシステムを構成し、テストソリューションに統合して、コスト効率の高いカスタムシステムを構築できます。

 

NIのエコシステムでお客様のソリューションを構築する

NIでは、アプリケーション固有の要件に合わせてカスタマイズされた、さまざまなソリューション統合オプションを提供しています。社内で統合チームを組織してシステムを完全に統括することも、NIと世界各地のNIパートナーネットワークの専門技術を活用したターンキーソリューションをご利用いただくことも可能です。

NIパートナーネットワーク

NIパートナーネットワークは、ドメイン、アプリケーション、および全体的なテスト開発エキスパートがNIと緊密に連携してエンジニアリングコミュニティのニーズを満たすグローバルコミュニティです。NIパートナーは、信頼できるソリューションプロバイダ、システムインテグレータ、コンサルタント、製品開発者、幅広い産業やアプリケーション分野に精通したサービスおよび販売チャネルの専門家です。

サービスとサポート

NIは、トレーニング、技術サポート、コンサルティングと統合サービス、メンテナンスプログラムによって、アプリケーションのライフサイクル全体を通してお客様との緊密な関係を築きます。お客様のチームは、NIの地域別ユーザグループに参加することで新たなスキルを発見でき、オンライントレーニングおよび対面型トレーニングで習熟度を高めることができます。

半導体テストシステムによるMEMS製造テスト

微小電子機械システム (MEMS) デバイスはますます普及し、より複雑になっており、高スループットおよび高確度のテストソリューションが求められています。このアプリケーションノートでは、本番環境におけるMEMSテストの重要な側面と、NI半導体テストシステムの特長を説明します。